hakkında şirket haberleri Yarı İletken Üretimi için CMP Bulamaç Filtre Kartuşları

CMP bulamaç filtre kartuşu, yarı iletken imalatının kimyasal mekanik parlatma işleminde kullanılan yüksek performanslı bir filtreleme elemanıdır. CMP bulamacı genellikle aşındırıcı parçacıklar, kimyasal katkı maddeleri, oksitleyiciler, stabilizatörler ve diğer fonksiyonel bileşenleri içerir. Amacı, levhalar üzerinde kontrollü malzeme kaldırma ve yüzey düzlemselleştirme elde etmektir.

Ultra saf su veya genel kimyasal filtrelemeyle karşılaştırıldığında CMP bulamaç filtrelemesi daha karmaşıktır. Filtre, parlatma performansı için gerekli olan yararlı aşındırıcı parçacıkları çıkarmadan, büyük boyutlu parçacıkları, topakları, jelleri ve kirlenmeyi gidermelidir.

Bu nedenle CMP filtrasyonu yalnızca en küçük mikron derecesinin seçilmesinden ibaret değildir. Uygun bir CMP filtre kartuşu, parçacık kontrolünü, bulamaç stabilitesini, akış performansını, basınç düşüşünü ve proses uyumluluğunu dengelemelidir.

CMP proseslerinde partikül büyüklüğü dağılımı polisaj kalitesiyle yakından ilişkilidir. Parlatma sistemine büyük boyutlu parçacıklar veya topakların girmesi halinde, bunlar levha çiziklerine, yüzey kusurlarına, kararsız temizleme oranına veya verim kaybına neden olabilir.

Aynı zamanda, eğer filtre çok sıkıysa veya çamur için uygun değilse, faydalı aşındırıcı parçacıkları temizleyebilir, çamurun özelliklerini değiştirebilir, basınç düşüşünü artırabilir veya filtrenin servis ömrünü kısaltabilir.

CMP bulamaç filtrelemenin ana hedefleri şunları içerir:

• Büyük boyutlu parçacıkların ve topakların çıkarılması.
• Plaka parlatma sırasında çizilme riskinin azaltılması.
• Kararlı bulamaç parçacık dağılımının sürdürülmesi.
• Aşağı yöndeki pompaları, vanaları, nozülleri ve cilalama aletlerini korur.
• Tutarlı parlatma performansını ve proses stabilitesini destekler.

Filtre malzemesi seçimi çamur kimyasına, aşındırıcı tipine, pH değerine, oksitleyici bileşenlere, akış hızına ve temizlik gereksinimine bağlıdır.

• UPE filtre kartuşları Düşük ekstrakte edilebilirlikleri, iyi temizlikleri ve kararlı parçacık tutma performansları nedeniyle yüksek saflıkta bulamaç ve elektronik kimyasal filtrelemede yaygın olarak kullanılır.
• PP filtre kartuşları çamur ön filtrelemesi veya daha az agresif çamur sistemleri için kullanılabilir. PP malzemeleri birçok endüstriyel ve elektronik sıvı uygulamasında iyi maliyet kontrolü ve geniş uyumluluk sağlar.
• PES filtre kartuşlarıİyi akış performansı ve istikrarlı filtreleme verimliliğinin gerekli olduğu belirli su bazlı bulamaç uygulamaları için seçilebilir.
• PTFE filtre kartuşları Daha güçlü kimyasal direnç gerektiren özel kimyasal ortamlar için düşünülebilir.

Gerçek CMP uygulamalarında uyumluluk sorunlarını veya ikincil kirlenmeyi önlemek için filtre ortamı, destek katmanı, çekirdek, kafes, uç kapağı ve sızdırmazlık malzemesinin tümü birlikte değerlendirilmelidir.

CMP bulamaç filtreleme doğruluğu, bulamaç türüne ve proses hedefine bağlıdır. Farklı CMP süreçleri farklı filtreleme seviyeleri gerektirebilir. Bazı uygulamalar büyük parçacıkların ve topakların giderilmesine odaklanırken diğerleri mikron altı kirleticilerin daha hassas kontrolünü gerektirir.

Ancak daha küçük gözenek boyutu her zaman daha iyi değildir. Filtrede çok fazla normal aşındırıcı parçacık tutulursa bu, bulamacın etkili parçacık konsantrasyonunu değiştirebilir ve parlatma performansını etkileyebilir. Filtre çok açıksa büyük boyutlu parçacıklar geçebilir ve çizilme riski artabilir.

Bu nedenle, CMP filtre seçiminde parçacık boyutu dağılımı, viskozite, akış hızı, basınç düşüşü ve filtre ömrü dahil olmak üzere hem filtreleme derecesi hem de gerçek çamur davranışı dikkate alınmalıdır.

CMP filtre kartuşları çamur besleme sisteminin farklı noktalarında kullanılabilir.

• Bulamaç üretim filtrelemesi
  Bulamaç üretimi veya hazırlanması sırasında istenmeyen büyük parçacıkları gidermek ve ürün tutarlılığını iyileştirmek için kullanılır.
• Dağıtım döngüsü filtrelemesi
  Depolama, pompalama veya taşıma sırasında oluşan parçacıkları kontrol etmek için çamur sirkülasyon sistemlerinde kullanılır.
• Kullanım noktası filtrelemesi
  Bulamaç cilalama pedine veya plaka yüzeyine ulaşmadan önce son partikül kontrolünü sağlamak için CMP aletlerinin yakınına monte edilir.
• Alet tarafı koruma filtrelemesi
  Memeleri, valfleri ve dağıtım hatlarını topakların veya proses kalıntılarının neden olduğu tıkanmalardan korumak için kullanılır.

İyi tasarlanmış bir filtreleme sistemi, parçacık yükünü kademeli olarak azaltmak ve son yüksek hassasiyetli filtreleri korumak için aşamalı filtreleme kullanabilir.

CMP filtrelemesi, hem filtre performansının hem de bulamaç stabilitesinin dikkatli bir şekilde değerlendirilmesini gerektirir.

• İlk endişe parçacık kontrolüdür. Filtre, levha kusurlarına neden olabilecek büyük boyutlu parçacıkları ve topakları etkili bir şekilde çıkarmalıdır.
• İkinci endişe, bulamaç uyumluluğudur. Filtre, yararlı aşındırıcı parçacık dağılımını önemli ölçüde değiştirmemelidir.
• Üçüncü endişe ise basınç düşüşüdür. Aşırı basınç düşüşü, bulamaç dağıtım stabilitesini etkileyebilir ve sistem yükünü artırabilir.
• Dördüncü endişe kimyasal uyumluluktur. Filtre malzemesi çamurun kimyasına ve çalışma koşullarına uygun olmalıdır.
• Beşinci husus temizliktir. Yarı iletken uygulamalar için düşük ekstrakte edilebilirlik, düşük parçacık dökülmesi ve temiz üretim önemlidir.
• Altıncı endişe hizmet ömrüdür. Filtre, sık sık tıkanmadan veya vaktinden önce değiştirilmeden istikrarlı bir çalışma sağlamalıdır.
• Yedinci endişe sızdırmazlık güvenilirliğidir. Herhangi bir baypas sızıntısı, filtreleme etkinliğini azaltabilir ve proses riskini artırabilir.

Pullner, CMP bulamaç filtreleme ve yarı iletkenle ilgili yüksek saflık uygulamaları için filtre kartuşu çözümleri sağlar. Mevcut filtre ortamları, farklı proses gereksinimlerine göre UPE, PP, PES, PTFE, Naylon, PVDF ve diğer malzemeleri içerir.

Pullner, çamur tipine, filtreleme pozisyonuna, akış hızına, basınca, sıcaklığa, parçacık kontrol hedefine, mevcut filtre modeline, çizimlere veya örneklere göre uygun CMP filtrelerinin seçilmesinde müşterilere destek olabilir.

Bulamaç partikül kirliliği, yüksek basınç düşüşü, kısa filtre ömrü, istikrarsız parlatma performansı veya ithal filtre değiştirme ihtiyaçları ile karşı karşıya kalan müşteriler için Pullner, çalışma koşullarının analiz edilmesine yardımcı olabilir ve uygun bir filtreleme çözümü önerebilir.

CMP bulamaç filtre kartuşları yarı iletken parlatma işlemlerinde önemli bir rol oynar. Amaçları yalnızca parçacıkları uzaklaştırmak değil, aynı zamanda bulamaç stabilitesini korumak ve levha kusuru risklerini azaltmaktır.

Uygun bir CMP filtresi partikül gidermeyi, çamur uyumluluğunu, basınç düşüşünü, akış performansını, temizliği ve servis ömrünü dengelemelidir.

Pullner, dünya çapındaki yarı iletken müşterileri için güvenilir, uygun maliyetli ve özelleştirilmiş CMP bulamaç filtre kartuşu çözümleri sunmaya kendini adamıştır.